氬氣
氬氣的主要應(yīng)用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點氣等。
氬氣管道應(yīng)該是密封、不漏氣。提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員要經(jīng)過培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，不要讓氣體泄漏到工作場所空氣中。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。氬氣是一種無色、無味、無毒的不燃燒的儲存于氣瓶中的高壓氣體。當(dāng)其含量增加導(dǎo)致氧氣含量低于19.5%時有可能引起窒息。配備自吸式呼吸面具。瓶裝氣體產(chǎn)品為高壓充裝氣體，使用時應(yīng)經(jīng)減壓降壓后方可使用。
